한양대는 전형탁(54) 신소재공학부 교수가 최근 일본 교토에서 아시아 연구자로선 처음으로 ‘세계 원자층 증착기술상’(ALD Award)을 받았다고 22일 밝혔다.
원자층 증착기술(ALD)은 반도체 표면에 나노 원자층을 증착시키는 기술로 우리나라가 선도하는 반도체 연구 분야 중 하나다.
전형탁 한양대 교수
2014-06-23 12면